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無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
日期：2024-09-20 12:09
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摘要：
無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
一、污染源控制
無(wú)塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的軟件&mdash&mdash管理制度來(lái)搭配，方能維持良好的潔凈度。無(wú)塵室內(nèi)之微污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%，如圖1所示。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加，有人動(dòng)作時(shí)，潔凈度馬上劣化，可見(jiàn)潔凈度劣化之原因人是主要因素。
無(wú)塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。
對(duì)硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運(yùn)作功能，因此微污染源的控制已成為無(wú)塵室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測(cè)得的塵埃濃度，可為設(shè)計(jì)參考，而在微污染控制，其基本原則有四：
1.外部塵埃侵入之防止：
無(wú)塵室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入無(wú)塵室前先做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，空氣過(guò)濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。
2.室內(nèi)發(fā)塵之防止：
隔間板、地板等無(wú)塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集、動(dòng)作放松、潔凈衣的管理、使用無(wú)塵室專用器等。
3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留：
墻壁體應(yīng)光滑無(wú)死角、無(wú)塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。
4.發(fā)生塵埃之排除：
換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。
人、物入室的管理問(wèn)題、實(shí)際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問(wèn)題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問(wèn)題，這些問(wèn)題將于下節(jié)祥述。
無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
測(cè)量地點(diǎn) | 微塵粒子數(shù)（個(gè)/ft3）&ge0.5μm |
大氣層圈 | ≦100 |
田園地區(qū)（微風(fēng)狀態(tài)） | 100，000~300，000 |
住宅地區(qū) | 100，000~200，000 |
辦公室（工作中） | 200，000~400，000 |
工業(yè)區(qū) | 400，000~1，000，000 |
正在吸煙的會(huì)議室 | 600，000~1，000，000 |
測(cè)量地點(diǎn) | 微塵粒子數(shù)（個(gè)/ft3）&ge0.5μm |
大氣層圈 | ≦100 |
田園地區(qū)（微風(fēng)狀態(tài)） | 100，000~300，000 |
住宅地區(qū) | 100，000~200，000 |
辦公室（工作中） | 200，000~400，000 |
工業(yè)區(qū) | 400，000~1，000，000 |
正在吸煙的會(huì)議室 | 600，000~1，000，000 |
二、無(wú)塵室運(yùn)轉(zhuǎn)管理
無(wú)塵室運(yùn)轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無(wú)塵室內(nèi)所用東西等加以探討，并依計(jì)劃（planning）、實(shí)施（Doing）、追蹤（Checking）、動(dòng)作(Action)之PDCA循環(huán)步驟執(zhí)行。
1.作業(yè)人員之管理
前以提及在無(wú)塵室內(nèi)污染來(lái)源80%來(lái)自作業(yè)人員,因此若能使作業(yè)人員依無(wú)塵室管理，而所有人員也均能配合實(shí)施，則污染源的產(chǎn)生可說(shuō)已減大半?，F(xiàn)就進(jìn)入無(wú)塵室的作業(yè)人員之管理和注意事項(xiàng)說(shuō)明如下：
?。?/span>1）進(jìn)入無(wú)塵室之人員，必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，并要維持*好狀態(tài)之觀念。
（2）作業(yè)人員進(jìn)入無(wú)塵室數(shù)目以維持*小限度原則（愈少愈好），并須依無(wú)塵室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出無(wú)塵室，出則相反方向進(jìn)行，唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理。
?。?/span>3）對(duì)作業(yè)人員必須經(jīng)常講解無(wú)塵室管理之?dāng)?shù)據(jù)，并加以教育與訓(xùn)練，內(nèi)容如無(wú)塵室管理之一般常識(shí)、無(wú)塵室之構(gòu)造與功能、維護(hù)和清潔、**對(duì)策、搬運(yùn)器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無(wú)塵室內(nèi)之步行方式等，并經(jīng)考試合格者方能進(jìn)入無(wú)塵室工作。
?。?/span>4）在無(wú)塵室作業(yè)人員須經(jīng)常保持自己各方面的干凈與清潔。
?。?/span>5）在無(wú)塵室內(nèi)之作業(yè)人員或其它人員之移動(dòng)或動(dòng)作均為發(fā)塵源，其直接影響制程，同時(shí)亦會(huì)影響氣流之?dāng)_動(dòng)，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項(xiàng)：
a.不可在作業(yè)區(qū)域氣流之上方放置物品或做其它作業(yè)。
b.不必要之動(dòng)作盡量避免以防止亂流發(fā)塵。
c.與作業(yè)無(wú)關(guān)的私心談話盡量避免。
d.為控制發(fā)塵量，人員步行及作業(yè)要靜靜地進(jìn)行。表2所示為人體在不同動(dòng)作時(shí)之發(fā)塵量。
e.作業(yè)要在潔凈之工作柜或工作桌進(jìn)行。
f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放一定的場(chǎng)所。
（6）作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應(yīng)保養(yǎng)，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。
?。?/span>7）潔凈衣要經(jīng)常保持著衣之狀態(tài)。
?。?/span>8）下列所述者不能進(jìn)入無(wú)塵室：
a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。
b.未照規(guī)定穿著潔凈衣者。
c.剛做激烈運(yùn)動(dòng)流汗者。
d.吸煙或吃東西后，尚未經(jīng)過(guò)半小時(shí)以上者。很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何無(wú)塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準(zhǔn)進(jìn)入的原因所在。故針對(duì)在無(wú)塵室作業(yè)人員之招募，若能選擇不吸煙者為對(duì)象，將可帶來(lái)甚大利益。
&ge0.3μm | &ge0.5μm | |||||
一般工作服 | 無(wú)塵服 | 普通作業(yè)服 | 無(wú)塵服 | |||
白衣形 | 全覆形 | 白衣形 | 全覆形 | |||
站立（靜姿） | 543，000 | 151，000 | 13，800 | 339，000 | 113，000 | 5，580 |
坐下（靜姿） | 44，800 | 142，000 | 14，800 | 302，000 | 112，000 | 7，420 |
腕上下 | 4，450，000 | 463，000 | 49，000 | 2，980，000 | 298，000 | 18，600 |
上身前屈 | 3，920，000 | 770，000 | 39，200 | 2，240，000 | 538，000 | 24，200 |
腕的自由運(yùn)動(dòng) | 3，470，000 | 572，000 | 52，100 | 2，240，000 | 298，000 | 20，600 |
頭的上下運(yùn)動(dòng) | 1，230，000 | 187，000 | 22，100 | 631，000 | 151，000 | 11，000 |
屈身 | 4，160，000 | 1，110，000 | 62，500 | 3，120，000 | 605，000 | 37，400 |
踏步 | 4，240，000 | 1，210，000 | 92，100 | 2，800，000 | 861，000 | 44，600 |
步行 | 5，360，000 | 1，290，000 | 157，000 | 2，920，000 | 1，010，000 | 56，000 |
?。?/span>9）有下列健康狀態(tài)或體質(zhì)者原則上不能進(jìn)入無(wú)塵室：
a.因日曬、濕診而皮膚有問(wèn)題者。
b.化學(xué)纖維或有機(jī)溶劑等化學(xué)藥品有過(guò)敏性體質(zhì)者。
c.容易出受汗者。
d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。
e.化妝或涂口紅者。
f.有重大精神病、神經(jīng)過(guò)敏或閉瑣恐懼者。
g.因**、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。
但對(duì)于有下列性格的人，則*適宜進(jìn)入無(wú)塵室工作：
a.做事細(xì)心有耐性者。
b.勤于整理整頓，經(jīng)常自己注意身邊清潔的人。
c.經(jīng)常留意自己之健康者。
10.以下之物品不能帶進(jìn)無(wú)塵室：
a)沒(méi)有經(jīng)過(guò)清潔過(guò)程之器材、零件物品、測(cè)定器等各種物品。
b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記錄或筆記用紙、影印數(shù)據(jù)等。
c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。
d)香煙、化妝品、衛(wèi)生紙、飲食品等。
e)作業(yè)員個(gè)人用品如打火機(jī)、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊(cè)或其它個(gè)人物品等。
無(wú)塵室潔凈度維持之*大控制對(duì)象為作業(yè)人員，因此對(duì)于作業(yè)人員之?dāng)?shù)目、行動(dòng)狀態(tài)、進(jìn)出規(guī)則之制定與執(zhí)行，提高無(wú)塵室內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識(shí)、反復(fù)教育，均為必須，表3所示為因作業(yè)人員之動(dòng)作而產(chǎn)生污染的增加倍率。
